晶圓片托架的落座檢測(cè)。
通過(guò)與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無(wú)滑石粉）。
檢測(cè)方式：反射型。
檢測(cè)距離：紅外光0~3mm。
動(dòng)作模式：有晶圓片托架時(shí)ON。
導(dǎo)線長(zhǎng)：2mE2B-S08LS01-MC-C2大顯示屏+狀態(tài)指示燈。
新增動(dòng)作模式指示燈(L?ON/D?ON)和示教狀態(tài)指示燈，
使用狀態(tài)一目了然。
連接方式：接插件式。
輸出方式：PNP輸出。本體：程序型。
尺寸：96×96mm。
類型：基本型（1輸入）。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)控制、加熱冷卻控制。
輸出（控制/傳送）點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)（脈沖+脈沖/電流）。
輸助輸出（SUB）點(diǎn)數(shù)：10點(diǎn)。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：10點(diǎn)。
串行通信：RS-485。
全新推出高速、高精度數(shù)字調(diào)節(jié)儀（程序型）！
可設(shè)定多達(dá)32種程序。
1臺(tái)可協(xié)調(diào)運(yùn)行多達(dá)4個(gè)通道。
50ms的高速采集。
用CX-Thermo在計(jì)算機(jī)上輕松設(shè)定。尺寸：96×96mm。
本體：端子臺(tái)型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點(diǎn)型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：銀色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：3點(diǎn)。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過(guò)電流檢測(cè)功能/ES1B用電源：?jiǎn)蜗嗉訜崞饔脵z測(cè)功能。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
傳送輸出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級(jí)＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護(hù)功能，性能進(jìn)一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報(bào)警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計(jì)數(shù)功能，可預(yù)防維護(hù)溫控器內(nèi)部繼電器。
增加了3段顯示，可同時(shí)顯示易于理解的當(dāng)前值/目標(biāo)值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP等，可實(shí)現(xiàn)一鍵操作。本體：導(dǎo)線引出型，長(zhǎng)距離型。
形狀：屏蔽，M12。
檢測(cè)距離：4mm。
輸出形式：直直流2線式（無(wú)極性）。
動(dòng)作模式：NO。
防飛濺的氟樹脂涂層型接近傳感器。
拔群的耐噴濺性。
系列中中增加了長(zhǎng)距離型。最長(zhǎng)檢測(cè)距離15mm。
直流2線式。
備有接插件中繼型。E3Z-G61-S0SHW-E5按用途選擇有1光軸型和11光軸型
防止相互干擾功能、 EN標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
無(wú)需光軸調(diào)整的凹槽型光電傳感器