晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E5AN-R3HBT-W-N指导手册。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ONE5AN-R3HBT-W-N
导线长：2m。放大器分离接近传感器可简单设定高精度的灵敏度。
可根据用途选择传感器探头种类，传感器前置放大器-放大 器之间采用耐弯曲电缆。
不易受环境温度影响，温度特性为0.08%/°C （φ5.4型）E5AN-R3HBT-W-N指导手册。
可简单、确实检测设定微米级精度（示教功能）。
可确认检测余量（数字显示）。
高精度的定位、支持甄别检查、变化量最大化“FP （Fine Positioning）功能”。
也备有适用于EtherCAT传感器通信单元/CompoNet通信单元的E2C-EDA0型号。种类：可插拔式。
尺寸：48×96mmE5AN-R3HBT-W-N指导手册。
控制输出1：继电器输出。
控制输出2：继电器输出。
辅助输出：2点。
通信：--。
加热器断线：1点。
事件输入：2点。
电源电压：AC100～240V。
使用大字体PV显示(白色)，提高可视性。
选型、设定及操作更为简捷多组输入/输出，
功能齐全性能更强、功能更完善应用更范围更为广泛欧姆龙E5AN-R3HBT-W-N手册。
E5EC-800的白光LCD-PV显示屏高度约为18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV显示屏高度约为25mm改进了可视性。
主体短小，厚度仅为60mm。
50ms高速采样周期。
新型位置比例控制型号使您还可以控制阀门。尺寸：48×96mm。
本体：端子台型，温度输入型欧姆龙E5AN-R3HBT-W-N手册。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：继电器输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：单相加热器用检测功能欧姆龙E5AN-R3HBT-W-N手册。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：RS-485。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态

（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SSVE5AN-R3HBT-W-N指导手册E5AN-R3HBT-W-N。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。