种类：屏蔽型。
形状：φ5.4。
检测距离：1mm。
连接方式：导线引出型(2m)。
导线规格：PVC（耐油）。
动作模式：NO。
接线颜色/插针配置：褐：+V 黑：输出；蓝：0VE3ZM-LS82X使用说明书。
输出类型：NPN输出。
超小型接近传感器，安装异常“轻松”!
E2E 小径型使用更方便E3ZM-LS82X可减少设备从启动到保养的安装调整工时。
检测距离以往的1.5倍定位调整“轻松”。
为了实现稳定检测，推荐检测距离×0.7以内的设置。
指示灯4处位置调节“轻松”。
若使用专用安装配件，设计也“轻松”。尺寸：22.5×96mm。
控制输出：线性电流输出。
辅助输出点数：--。
HB报警和HS报警：--。
事件输入点数：--。
通信：RS-485E3ZM-LS82X使用说明书。
电源电压：AC100～240V。
小巧机体设计，显示字体较大，即使在一段距离之外也能清晰读数，
从而显著降低了人工读数出错的风险。
温控器采用紧凑设计风格，
因此对控制柜内安装空间的要求较低(60mm)，
即使安装空间较为狭小，
亦可轻松快速地实现卡入式安装。
同时融入了欧姆龙的PID控制专利，
使其温度控制的精确性达到了新的标准，
其50ms的采样周期也使温度控制的迅捷性上升了一个台阶。种类：直流3线式，屏蔽型。
形状：M18。
检测距离：5mm。
连接方式：导线引出型（2m）。
导线规格：PVC（耐油）。
动作模式NC。
NPN输出。
接近传感器的首选世界顶级的性能和品种齐全E3ZM-LS82X使用说明书。
具有优异的耐环境性能。
标准导线的材质为耐油PVC。
检测面采用耐切削油材质。
标准采用导线护套。分类:经济型。
名称：经济型热电偶。
温度范围：0～+400℃。
元件种类：K（CA）J（IC）。
方式：非接地型。
等级：2级（0.75级）。
保护材质：SUS304。
端子形状：导线直出型。
记记载页：17。
品种丰富的高精度温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并并用的方式设定落座位置E3ZM-LS82X手册。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂脂E3ZM-LS82X手册。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。