光纤单侧长2m，因此长度为4000mm。
注1.检测距离中记载的各模式名称和响应时间如下所述。
【E3X-HD】GIGA:大功率模式（16ms）、HS：高速模式（250μs）、ST：标准模式（1ms）、SHS:超高速模式（NPN输出：50μs、PNP输出：55μs）
【E3NX-FA】GIGA:大功率模式（16ms）、HS：高速模式（250μs）、ST：标准模式（1ms）、SHS:超高速模式（30μs）
注2.最小检测物体为在标准模式下，将检测距离和灵敏度设定为最佳时的值（参考值）E3S-CD66
前者为E3X-HD、后者为E3NX-FA的值原装欧姆龙E3S-CD66原装欧姆龙E3S-CD66。晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。种类：直流3线式，非屏蔽型。
形状：M30。
检测距离：8mm。
连接方式：导线引出型（2m）。
导线规格：PVC（耐油）。
动作模式NC。
NPN输出。
接近传感器的首选世界顶级的性能和品质。
磁性金属有无检测环境性能原装欧姆龙E3S-CD66。
标准导线的材质为耐油PVC。
检测面采用耐切削油材质。
标准采用导线护套。控制输出：继电器输出。
辅助输出：2点。
加热断线、SSR故障检测功能：单相加热器用检测功能。
事件输入：--。
通信：RS-485。
端子形状：主单元单体型(无端子单元)。
电源电压：AC/DC24V。
E5□C系列的操作性、高性能维持原状最适合连接触摸屏/PLC和温控器的系统的DIN导轨安装型。
进深85mm×宽22.5mm的DIN导轨安装型，收纳于薄型控制柜内的纤细机身。
采用端子台拆装结构，可轻松更换，提高了维护性。
通过50ms的高速采样，适用于高速升温的用途。
通过无程序通信轻松与PLC相连。
使用通信转换电缆(另售)与计算机相连后，无需电源接线即可
设定。也可通过CX-Thermo(另售)轻松设定。
带辅助输出(最大2点)、事件输入(最大1点)，基本功能齐全。
柜内启动时或异常时的确认简单，醒目的白色PV显示
(PV高8.5mm)。尺寸：96×96mm。
控制输出1：线性电流输出。
控制输出2：电压输出（SSR驱动用）。
辅助输出：4点(辅助输出1、2公共通用，辅助输出3、4公共通用)。
电源电压：AC100～240V。
端子形状：螺钉端子台型。
输入类别：全量程多输入。
加热断线、SSR故障检测功能：1点。
通信：--。
事件输入：6点。
远程SP输入：有。
传送输出：有。
清晰易读的大屏白光PV显示。从选型到设定与操作均简单易用。
完整的I/O容量、功能和性能范围。适合更多应用。
E5AC的白光LCDPV显示屏高度约为25mm。
上面板和前面板都配有工具端口。
用通信转换线（另售）连接至电脑上来建立控制器而不需要为电源安装电线。
轻松安装CX--Thermo（另售售）E3S-CD66。
50ms高速采样周期。
型号可配备最多4点辅助输出，6点事件输入，
1点传传传送输出和远程SP输入，适合一系列广泛的应用E3S-CD66。
主体短小，厚度仅为60mm。
易于使用未编程通信连接到可编程逻辑控制器(PLC)。
使用部件通信将温控器互相连接。
新型位置比例控制型号使您还可以控制阀门。
E3S-CD66操作手册/说明书/选型样本下载地址: /searchDownload.html?Search=E3S-CD66&select=5